三豐工業(yè)測量顯微鏡廣泛應(yīng)用于多個(gè)行業(yè),特別在電子行業(yè)是觀察電路板的構(gòu)造和測量距離的“得力”儀器。關(guān)于顯微鏡的測量基礎(chǔ)知識(shí),今天小編就和您淺聊一下。
首先,我們從顯微鏡的主要構(gòu)成和光路說起,請(qǐng)看下圖:
照明方式
透射照明
采用透過輪廓光觀察的方法,特別是觀察測量輪廓時(shí)使用,邊緣清晰易于觀察。
反射照明
垂直照射測量工件的表面,用來表面性狀的觀察和測量。
使用顯微鏡時(shí),您可能會(huì)遇到顯微鏡的專業(yè)用語,這些用語都代表什么意思呢?
專業(yè)用語
綜合放大倍率
視場數(shù)F.N
指目鏡能否在廣視野下進(jìn)行觀察的指標(biāo)。F.N=Field Number
實(shí)視場 FOV
指通過目鏡觀察時(shí)實(shí)際觀察和觀察工件的實(shí)際范圍。FOV:Field Of View
透過物鏡與成像鏡頭的光在分劃板上(成像鏡頭焦點(diǎn)位置)成像,
觀察被目鏡放大后的像。
PC顯示倍率(TV綜合倍率)
PC顯示器倍率(TV綜合倍率)是指相機(jī)攝像元件對(duì)角線長度與PC顯示器屏幕對(duì)角線長度之比。當(dāng)顯微鏡通過CCD 設(shè)備連接至電腦上進(jìn)行成像觀察時(shí),就需要評(píng)價(jià)顯示器倍率了。
工作距離 WD
聚焦時(shí)物鏡鏡頭頭部頂點(diǎn)到檢查物體表面的距離。工作距離越長,聚焦時(shí)操作性越好,不用擔(dān)心鏡頭會(huì)碰上檢查物體。WD:Working Distance
工作距離的示意圖
齊焦距離 PFD
聚焦時(shí)從物鏡安裝位置到合焦時(shí)檢查物體表面的距離。PFD:Par Field Distance
焦點(diǎn)距離 FD
焦點(diǎn)距離指鏡頭(主點(diǎn))到焦點(diǎn)的距離。FD:Focus Distance
焦點(diǎn)深度 DOF
聚焦之后,聚焦位置前后移動(dòng),也能清晰的觀察的前后移動(dòng)范圍。DOF:Depth Of Focus
高倍率鏡頭倍率越高較深越淺(短)
觀察方法
明視場觀察
垂直照射測量物表面,適用于金屬、印刷電路板、淺孔的表面觀察。
暗視場觀察
通過對(duì)從工件發(fā)出的散射光進(jìn)行觀察,可完成在明視場下觀察不到的劃痕、塵埃、凹凸,以及勝任低反射工件的觀察。
偏光觀察
觀察具有偏光特性的物質(zhì),適用于半導(dǎo)體材料、液晶、結(jié)晶、金屬組織、礦物等表面觀察。
微分干涉(DIC)觀察
利用Nomarski棱鏡將光線分為兩束,形成明暗和對(duì)比度變化,可進(jìn)行立體觀察。適用于觀察硅片的結(jié)晶缺陷、磁頭研磨面的損傷檢查、涂裝面、金屬組織、礦石表面等。