392x系列寬光帶等離子缺陷檢測系統可以提供晶圓級別的缺陷檢測、良率改進以及對于≤7nm設計節點的邏輯及內存的在線監測的深紫外（SR-DUV）波段光源技術可提供超分辨率,同時配合創新的傳感器，3920和3925對獨特的缺陷類型具備高靈敏度的捕獲能力。392x系列還配有的pixel•point™和nano•cell™設計認知算法，能夠在對良率關鍵的圖案位置捕獲缺陷并對其分類。392x系列將檢測速度和靈敏度相結合，并支持Discovery at the Speed of Light™（光速發現）功能，從而使其產量達到在線監測的要求，在研發和批量生產中縮短了晶圓級數據的采集時間并能完整表征制程問題。

主要應用

缺陷發現、制程弱點發現、制程調試、EUV光刻制程檢查、工程分析、生產線監控、制程窗口發現

相關產品

3900 and 3905: 寬光譜等離子晶圓缺陷檢測儀，針對10nm及以下的邏輯和內存器件進行針對影響良率的關鍵缺陷的檢測。

29xx 系列: 針對一系列設計節點和器件類型，與39xx系列的檢測性能相輔相成的寬光譜等離子晶圓缺陷檢測儀。