日本電子發布新型智能技術肖特基場發射掃描電鏡JSM-IT800

提供來源:上海百賀日期：2020年05月29日

產品開發背景

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學和生物學等領域。隨著SEM的應用范圍不斷擴大，不僅包括研究和開發，還包括生產現場的質量控制和產品檢驗，SEM用戶需要快速高質量的數據采集，以及簡單的成分信息確認和無縫的分析操作。

掃描電子顯微鏡(SEM)被廣泛應用于納米技術、金屬、半導體、陶瓷、醫學、生物學等領域，且其應用領域還在不斷延。同時，應用的場景也涵蓋了從基礎研究開發，再到生產制造現場的質量控制和產品檢測。與此相應，SEM用戶對快速高質量的數據采集、簡單的成分信息確認，以及無縫的分析操作等的需求也越來越高。

為了滿足這些需求，帶有智能技術（IT）平臺的JSM-IT800集成獨特的“鏡頭內肖特基Plus場發射電子槍”，用于高分辨率成像及快速元素映射，并配置新一代電子光學控制系統“Neo Engine”，以及易用性的GUI“ SEM”可以完全整合JEOL 的x射線能譜儀。此外，JSM-IT800可提供兩種類型的物鏡配置，以滿足不同用戶的需求。

JSM-IT800的兩種版本為：用于通用FE-SEM的混合鏡頭版本（HL版本）和用于增強的高分辨率觀察和各種分析的混合鏡頭版本（SHL版本）。此外，SHL版本的JSM-IT800配備了新的上部混合探測器（UHD），可獲取更高的信噪比圖像，以研究樣品的精細結構。

此外，JSM-IT800還可以配備新的閃爍體背散射電子檢測器（SBED）和多功能背散射電子檢測器（VBED）。SBED使得即使在低加速電壓下也能以高響應度采集圖像并產生鮮明的材料對比度。而VBED可以獲取3D、不均勻度和材質對比的圖像。

產品特點

鏡頭內肖特基Plus場發射電子槍

電子槍和低像差聚光鏡的增強集成提供了更高的亮度。在低加速電壓下（5 kV時為100 nA）可獲得足夠的探針電流。獨特的In-lens肖特基Plus系統可實現從高分辨率成像到快速元素映射，電子背散射衍射（EBSD）分析以及軟X射線發射光譜（SXES）的各種應用，而無需更改透鏡條件。

Neo Engine（新電子光學引擎）

Neo Engine是一種電子光學系統，累積了多年的JEOL核心技術。即使更改不同的觀察或分析條件，用戶也可以執行穩定的觀察。自動功能的高度可操作性大大增強。

SEM/ EDS集成

GUI“ SEM”與SEM成像和EDS分析完全集成，可提供無縫、直觀的操作。通過合并可選的軟件附件（例如SMILENAVI）可以增強JSM-IT800的功能，以幫助新手用戶并為他們提供學習路徑，并且可以使用LIVE-AI過濾器（Live Image Visual Enhancer–AI）來獲取更高質量的實時圖像。

混合鏡頭（HL）版本和混合鏡頭（SHL）版本

基于靜電場和電磁場透鏡的組合，有兩種類型的物鏡可用。不同的配置可以滿足用戶的各種需求，實現高空間分辨率的成像和從磁性材料到絕緣子的各種樣品的分析，同時保持JSM-IT800的相同功能。

上層混合探測器（UHD）

內置于SHL型物鏡中的UHD大大提高了從標本產生的電子的檢測效率。這導致獲得具有更高信噪比的圖像。