由于客觀條件，任何光學系統都不能生成理論上理想的像，各種像差的存在影響了成像質量。所謂像差，是指顯微鏡透鏡或反射鏡所呈的像與原物面貌并非完全相同的現象。像差又可以分為幾類，例如球面像差是由于一點光源發散的光線被分聚在不同的點上的緣故。色彩像差的原3是透鏡的折光指數隨光波的長短而變化，從而引起像的邊緣呈現色彩。可以理解為實際像與根據單透鏡理論確定的理想像的偏離，這些偏離是折射定律造成的。像差是由透鏡對色光的不同彎曲能力所致，并造成帶有色暈的像。  所以組成一個光學系統中的透鏡質量對顯微鏡的成像影響是非常大的。

 

    透鏡在光學鍍膜的原理是高能離子或原子轟擊某金屬靶，并把自己的動量轉給靶中的原子，后者得到足夠的能量時就有可能脫離與相鄰原子的結合，由靶中逸出。這些被釋放出的原子(或原子團)沉積在樣品表面形成了撞擊后，便由四面八方附著在樣品表面.如果它們還有足夠多的能量，光學顯微鏡則到達待搜蓋樣品的表面時有可能射入1-2個原子層的深度。

 

    金屬原子在樣品表面的沉積速度與許多因素有關.首先，轟擊金屬陰極靶的氣體離子能量增加時濺射出的金屬原子能量也大。其次，容器中的氣體壓強大或放電電流密度增高時，氣體正離子數量和密度也大。第三，樣品與金屬靶的距離越近，沉積速度越d，但過度接近會使樣品受熱，一方面損傷標本，同時氣體中的雜質也影響沉積速度。