離子泵是一種用來(lái)獲得超高真空的真空泵,它具有抽速范圍廣、工作時(shí)沒(méi)有振動(dòng)、無(wú)需閥門(mén)即可形成封閉式抽氣系統(tǒng)、意外破真空不會(huì)損壞等特點(diǎn),在超高真空系統(tǒng)上應(yīng)用廣泛。
離子泵控制器可以為離子泵提供工作所需的直流高電壓(參考文章:二極泵、三極泵還有 StarCell, 離子泵原理一次搞懂)、顯示離子泵的工作狀態(tài)(電壓、電流、真空度等)和為外部的控制系統(tǒng)提供通訊接口以讀取參數(shù)或控制離子泵。
2017 年,安捷倫發(fā)布了全新的單通道離子泵控制器 IPCMini。作為安捷倫(原瓦里安)發(fā)明離子泵 60 周年 慶典的獻(xiàn)禮之作,IPCMini 集全新功能和小巧身材于一身,迅速贏得了眾多離子泵客戶(hù)的青睞。
身材小巧 使用方便
IPC Mini 僅重 1.9 公斤,它可以直接使用 24V 或 220V 電源供電,無(wú)需再外接適配器。小巧的身材包含了一塊 3.5 英寸的觸摸屏,面板上有可控制并顯示輸出高壓狀態(tài)的按鈕開(kāi)關(guān),和用于軟件升級(jí)和數(shù)據(jù)記錄的 USB 接口。使用時(shí)可以直接從系統(tǒng)菜單里選擇泵的型號(hào),不用進(jìn)行復(fù)雜設(shè)置。
通用性強(qiáng),其它品牌的離子泵也能用
IPCMini 最大功率 40W ,可以控制 0.2-500l/s 的離子泵。它有正高壓和負(fù)高壓兩種選項(xiàng),可以輸出最高 7000V 的高壓,耐受 20mA 的最大電流,除安捷倫離子泵之外,它還可以兼容其它品牌的離子泵,并且有適配不同類(lèi)型接頭的高壓線可選。
提高離子泵低壓?jiǎn)?dòng)性能 優(yōu)化離子泵抽速
IPCMini 全新的 iSTEP 功能,該功能可以提高離子泵低壓時(shí)的啟動(dòng)性能。IPCMini 可以根據(jù)離子泵的工作壓力在 7000V /5000V /3000V 之間自動(dòng)調(diào)整輸出電壓,由于離子泵的抽速跟電壓相關(guān),使用 IPCMini 時(shí),離子泵的抽速就得到了優(yōu)化。
真空度顯示更準(zhǔn)確
使用合適的控制器,是可以把離子泵作為真空計(jì)使用來(lái)讀取真空度的,不過(guò)由于離子泵存在漏電流(離子泵工作電流中與潘寧放電無(wú)關(guān)的部分,例如絕緣污染產(chǎn)生的爬電、泵內(nèi)放電等等),一般的離子泵控制器所顯示的真空度與真實(shí)值差別很大,特別是壓力比較低的時(shí)候(漏電流一般比較小,在壓力比較高時(shí)幾乎可以忽略,而在壓力比較低時(shí)占工作電流的比例會(huì)很大)。
另外,離子泵工作的電壓越高,漏電流就會(huì)越大,IPCMini 在真空度比較高時(shí)自動(dòng)降低電壓可以顯著的減小漏電流,使其在全壓力范圍內(nèi)都可以更準(zhǔn)確的顯示真空度。
電流分辨率高 信號(hào)輸出快
離子泵控制器輸出高壓的波紋電壓會(huì)形成電噪聲,IPCMini 輸出高壓的波紋電壓僅為同類(lèi)產(chǎn)品的 1/30 左右,使其可以用于對(duì)電噪聲非常敏感的應(yīng)用,比如 SEM。
IPCMini 還具有 1nA 的電流分辨率,和小于 10ms 的信號(hào)輸出響應(yīng)時(shí)間,可使用其信號(hào)連鎖控制閥門(mén)等其它元件。另外,IPCMini 還可以設(shè)置斷電恢復(fù)后自動(dòng)輸出高壓,避免短暫斷電對(duì)真空造成影響。
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