主要特點概覽

1. 非接觸式測量，一體化設計
2. 三維形貌掃描，多功能數據處理
3. 適用于各種材料的準確測量
4. 使用簡單，裝拆方便
5. 掃描速度快，定位精度高
6. ±0.5到±1μm重復精度保證
7. 穩定性高，抗干擾能力強

測量結果

表面起伏高度約為±30μm

解決現階段測量裝置存在的問題

1. 對測量材料有一定要求
2. 接觸式測量，對測量材料有損壞
3. 測量范圍小，位置不確定，測定困難
4. 測量速度慢、精度低，測量誤差大
5. 結構復雜，成本高