氦離子顯微鏡ORION的基礎是革命性的、原子尺寸的、ALIS氣體場離子源。由單個原子發出的，明亮的氦離子束客服了衍射和能量擴展的限制。此外，在一個大大縮小了相互作用區里，氦離子束和樣品的動力學結果貢獻了更高的分辨率和內涵豐富的襯度機制。
ORION顯微鏡也可以使用背散射離子成像，具有很強元素襯度的這種技術，提供了在樣品表面區分不同材料的能力。
ORION顯微鏡靈活性高、功能多樣，能夠提供廣泛的分析信息，其中包括：形貌、材料、電壓襯度、晶體學、表面和次表面信息，這種技術的另一個好處是在絕緣樣品上的高性能。

一、氦離子顯微鏡ORION技術參數

1、分辨率：0.75nm  45kv工作距離4mm；1.0nm   30kv工作距離4mm；2.5nm   10kv工作距離4mm
2、放大倍數：100x-1，000，000x
3、視野：1mm-100nm
4、離子束：1PA時〈1nm；離子束>流1 fA-25pA
5、離子源：氦氣體場離子源；壽命〉1000小時；離子源電動對中
6、樣品室：體積400mm3；基體真空度2*10-7Torr；接口板可定制；載物鎖
7、圖像探測器：Evehart-Thornley二次電子探測器；微通道板（選配）；透射電子探測器（選配）
8、樣品臺：5軸電動樣品臺，X 、Y軸行程50mm，Z軸行程12mm，360℃旋轉，0℃到45℃傾斜
9、真空系統：無油無微粒低真空泵設計，磁懸浮渦輪分子泵
10、攝像機：三臺監控攝像機一離子源觀察
11、樣品臺觀察、樣品室觀察
12、用戶界面：兩臺20 寸平板顯示器；圖像2048*2048像素；系統主要參數存檔功能

二、氦離子顯微鏡ORION主要特點

1.材料襯度
2.高分辨率
3.廣泛的分析信息
4.簡單的樣品制備
5.離子源工作穩定、長壽命