產品特性：日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有準確性高、穩定性和重復性.
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日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有準確性高、穩定性和重復性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲茫ü∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ堋Ⅻbr />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點
1. 具有良的臺階高度重復性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸大分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可準確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等；
4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調節，可測定軟質材料；
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型號 |
ET4000M |
ET4000A |
ET4000L |
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大樣品尺寸 |
300x300mm |
210x210mm |
300x400mm |
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樣品臺 |
尺寸 |
320x320mm |
220x220mm |
540x400mm |
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X軸傾斜度 |
±1mm/150mm(機動傾斜） |
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Y軸傾斜度 |
—— |
±1mm/150mm(機動傾斜） |
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承重 |
2Kg |
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檢出器 |
力 |
0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調節 |
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范圍 |
100μm |
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驅動 |
LVDT直動式（差動變壓器） |
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觸針 |
ET-1479(R2μm) |
ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) |
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X軸 |
大測長 |
100mm |
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直線度 |
0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) |
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速度 |
0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） |
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重復性 |
±5μm（定位） |
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Y軸 |
大測長 |
—— |
150mm |
400mm |
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直線度 |
—— |
5μm/150mm |
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重復性 |
—— |
±5μm（定位） |
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Z軸 |
大測長 |
52mm |
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放大倍數 |
垂直 |
50-2000000 |
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水平 |
1-10000 |
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3D |
—— |
可選擇 |
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θ軸 |
—— |
可選擇 |
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輔助功能 |
教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 |
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監控系統 |
攝像裝置 |
1/2 inch CCD (768x494像素） |
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監視裝置 |
視頻捕捉板 |
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應用 |
成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 |
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重復性 |
1σ0.5nm |
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電源 |
AC100V 800VA |
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外觀尺寸 |
W660xD580xH660mm 200Kg |
W930xD930xH790mm 380Kg |
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為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數的說明，還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。
安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內，我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養和免費更換損壞的零部件；
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