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日立熱場發射掃描電鏡

SU70

  1. 產品編號:BHRL-SM006
  2. 所屬品牌:日本電子
  3. 產品型號:SU70
  4. 額定功率:按實際方案提供
  5. 所屬類別:日立掃描電子顯微鏡
  6. 所屬用途:固體表面測量
  7. 應用領域:不限

產品特性:日立熱場發射掃描電鏡SU70型采用高分辨率半內透鏡技術和熱場發射電子槍,為探索納米世界打開了一扇新的大門。

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產品特點 技術規格 行業標準

日立熱場發射掃描電鏡SU70型采用高分辨率半內透鏡技術和熱場發射電子槍,為探索納米世界打開了一扇新的大門。為了滿足在同一臺儀器上進行綜合>析(需要大探針電流)和高分辨率觀察的需求,日立開發了SU-70。

一、日立熱場發射掃描電鏡SU70型的特點
1.100nA的大探針電流
    開發的肖特基電子槍保證100nA的大探針電流
2. 通用的分析型樣品室
    預留了多種接口,可以安裝以下附件進行
    分析:EDX,WDX,EBSP,STEM,BSE, CL,低溫臺,樣品室CCD
3. 分析模式(FF模式)
    觀察磁性樣品及EBSP、WDS分析
4. 高分辨率 1.0nm/15kV,1.6nm/1kV(減速模s),高分辨率的獲得利用了日立 已被檢驗的半內透鏡技術。
5. ExB技術用于控制SE/BSE信號檢測,實現消除放電現象及信號混合
6. 電子束減速技術保證了超低電壓的高分辨成像,用于淺表面觀察

二、日立熱場發射掃描s鏡SU70型的技術規格
1. 二次電子圖象分辨率
1.0nm(15KV.WD=4.0mm)
6nm(1KV.WD=1.5mm,減速模式)
2.5nm(1KV.WD=1.5mm)
2. 放大倍數
低放大倍數模式20-2,000x
高放大倍數模式100-800,000x
3. 電子光學
電子槍      ZrO/W 肖特基電子槍
電流         1pA-100nA
加速電壓  0.5-30KV(標準模式)
著陸電壓  0.1-2.0KV(減速模式)
透鏡系統  3級電磁線圈系統
物鏡光闌  4孔光闌,真空外選擇和細調
4. 樣品臺
樣品臺控制  5軸馬達控制
移動范圍
X     0-110mm
Y     0-110mm
z     1.5-40mm
T     -5O-+700
R     360O 
樣品尺寸  直徑150mm(標準);直徑200mm(可選)
5. 探測器
二次電子探測器
背散射電子探測器(可選)
STEM探測器(可選)
法拉第杯(可選)
X射線能譜儀(可選)
X射線波譜儀(可選)
EBSP探測器(可選)

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服務體系

Service System

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數的說明,還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較,給用戶最中肯的購買建議。

  1. 服務理念

    服務理念

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內,我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養和免費更換損壞的零部件;

  2. 售中服務

    售中服務

    為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數的說明,還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較,給用戶中肯的購買建議。

  3. 售后服務

    售后服務

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質保期內,我們負責為用戶的設備提供免費維護、保養和免費更換損壞的零部件;

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