無塵室兼容
運動平臺的尺寸210 毫米×210 毫米
行程50 毫米至750 毫米
分辨率達1納米

產品概述
PIglide系列平臺配備伺服驅動器線性電機，電機配置帶預載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，可提供高的性能、質量和使用壽命。

高推動力線性電機可以在幾毫秒內將平臺驅動至zui快速度，高承載能力軸承可支承重達60 公斤的有效載荷。該型號中的側面相對、主動預載空氣軸承設計可實現任意方向上的安裝。

應用領域
PIglide定位系統非常適用于高精度應用，諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和掃描。

由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用。

附件和可選配件
編碼器
PIglide過濾器和空氣預處理器
單軸和多軸運動控制器
氣動夾緊/解鎖選項
XY裝置和個性化配置
電纜軌道變型
用于垂直（Z）方向的配重選項
可提供定制版
花崗巖底座板和隔振系統

(1)取決于平臺安裝表面的平面度。
(2)可能受有效載荷、控制器或驅動器的限制。
(3)假定4096x插值。有關其他因子的使用，請聯系PI。
(4)通過基于控制器的誤差補償，可獲得改善的精度。為實現這些數值，平臺須與PI控制器一同訂購。精度值取短時間段，不考慮平臺上熱漂移的長期影響。
(5)為防止平臺損壞，建議將空氣壓力傳感器連接到控制器運動停止輸入端。
(6)假定空氣軸承工作壓力為80磅/平方英寸（550千帕）。