專為超大納米平板顯示器測量而設計的自動化原子力顯微鏡（AFM）系統

隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加，Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰。Park NX-TSH能獲得高分辨率的表面粗糙度測量，臺階高度測量和關鍵尺寸測量。

為OLED面板行業整片測量，尺寸鏡片測量，提供全自動的原子力顯微鏡計量解決方案。

專為OLED面板行業整片測量，LCD測量提供的全自動探針掃描器解決方案
專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計
Park原子力顯微鏡公司已經擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸，Park NX-TSH（龍門架設計平板式探針掃描器）可針對第八代及大于第八代的所有大型平板顯示器進行測量。專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計，大樣品尺寸可以測2200 mm。

硅片直徑的變化

使用導電原子力顯微鏡，Park NX-TSH 使用可選探針站測量樣品表面，該探針站接觸樣品表面并向小設備或晶圓片上的設備提供電流。Park NX-TSH用于帶有導電原子力顯微鏡的2D編碼器樣品，通過集成微探針站進行電氣缺陷分析。

Park NX-TSH特點
克服了樣品大小和重量的限制。
Park原子力顯微鏡公司新開發的探針掃描器結合了X、Y和Z掃描器，可以直接移動到所需測量的點。Park NX-TSH可以在X, Y和Z方向掃描探針頭，X- Y方向可達到100µm X 100 μm和Z方向可達到15 μm ，并有靈活的卡盤，以適應超過300毫米的超大超重樣品，用于OLED和LCD大樣品分析。 樣品固定在樣品卡盤上，連接在機架上的探針掃描頭移動到樣品表面的測量位置。 Park NX-TSH的探針掃描頭系統因此克服了樣品固定在樣品卡盤上時候樣品大小和重量的限制。

專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計，大樣品尺寸可以測到2200 mm.
Park NX-TSH 通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰，可掃描出高分辨率圖像。

具有低噪聲位置傳感器的15μm高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。業界的低噪聲Z檢測器取代了所施加的Z電壓作為形貌信號。 標準Z掃描器由高強度壓電堆驅動，并由撓曲結構引導，具有高共振頻率，可以實現更準確的反饋。使用可選的長距離Z掃描儀，大Z掃描范圍可從15μm擴展到40μm。

具有閉環雙伺服系統的100μmx 100μm柔性導向XY掃描器
XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成，它化的面外運動能提供高度的正交掃描，用快的響應來完成納米尺度上準確樣品掃描。XY 掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在大的掃描范圍及大樣品掃描時能發揮正交性。

自動測量控制，簡易操作測量更準確！

NX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得準確的多點分析，并對懸臂梁調諧、掃描速率、增益和設定點參數進行優化設置。

Park人性化設計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創建新的測量程序其實很簡單，從開始創建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間，而對創建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘。

Park NX-TSH的全自動特征:
自動，半自動，手動模式三種模式隨時切換控制
提供自動化程序的編輯方法
實時監控測量過程
自動分析所獲得的測量數據

高精度，
自動換針器(ATX)
ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。激光光斑通過電動定位技術自動對準。

電離系統可提供更穩定的掃描環境
我們創新的電離系統可快速有效地去除樣品環境中的靜電荷。 由于該系統始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創建一個穩定的電荷環境，幾乎不污染周圍區域，并且將在樣品處理過程中產生意外靜電的風險降至低。

Park NX-TSH技術參數
*本技術參數是可定制的。 請咨詢Park原子力顯微鏡，以獲取更多信息。

系統
技術參數
樣品尺寸*
520 mm x 520 mm x 12 mm, 10 kg

電動式X方向載物臺*
travels up to 625 mm, ± 3 µm分辨率

電動式Y方向載物臺*

行程達525 mm, ± 3 µm分辨率

電動式Z方向載物臺*
Z軸移動距離為25 mm, 0.08 µm分辨率, < 1 µm重復性

電動式對焦臺*
Z軸行進光學距離為9 mm

COGNEX圖案識別
圖案校對分辨率為1/4像素

 
掃描器
性能
XY掃描范圍
100 μm × 100 μm

XY分辨率
0.15 nm

 
Z掃描范圍
15 μm

Z分辨率
0.016 nm

 
AFM和XY移動平臺
控制器
ADC
18個頻道
4個高速通道 ADC channels
X、Y和Z位置傳感器(24位ADC)
 
DAC
17 channels
2個高速DAC通道
X、Y和Z的定位(20位DAC)
合規
CE
SEMI S2/S8標準

振動，噪聲，靜電防護（ESD）性能
地板振動要求
< 0.5 µm/s (10 Hz to 200 Hz w/ Active Vibration Isolation System)

 
噪音
>20 dB attenuation w/ Acoustic Enclosure

 
基礎設施需求
待機室溫
10 °C ~ 40 °C 

工作室溫
18 °C ~ 24 °C

濕度
30%至60% (不凝結)

地板振動要求
VC-E (3 µm/sec)

噪音
低于65 dB

 
氣動式
真空度 : -80 kPa
CDA (or N2): 0.7 MPa

電源額定值
208V - 240 V,單相, 15 A (大)

總耗電量
Consult Park Systems

接地電阻
低于100歐姆

 
選項
自動換針器 (ATX)
ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。

 
電離系統
電離系統可快速有效地去除靜電荷。由于該系統始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以創建一個穩定的電荷環境，幾乎不污染周圍區域，并且將在樣品處理過程中產生意外靜電的風險降至低。

 
尺寸 & 重量
NX-TSH
2334 mm(w) × 1450 mm(d) x 2450 mm(h), 2720 kg approx. (包括控制箱)
升限高度: 2500 mm以上
操作員工作空間: 3700 mm (w) x 3000 mm (d)