TEM、STEM 和 SEM （T-SEM） 中納米尺度的 EDS 元素面分析

清晰的多功能測量裝置和細管徑幾何構型可確保在常規基礎上快速可靠的采集 TEM EDS 數據。使用 HyperMap 或譜圖獲取高光譜成像，我們的軟件保存每個像素的譜圖和定量分析所需的所有元數據，用于之后的檢測和處理。

• 適合不同電子顯微鏡靴類型的的 EDS 細管徑設計和優化的EDS 幾何構型確保了信號采集角和檢出角
• 有助于避免試樣傾斜、吸收、陰影和系統峰
• 無窗探測器可進一步提高檢測效率，特別是在低能端，可用于輕元素和高核電荷數元素 L、M 和N 線系能量峰的檢測
• 默認模式下自動回縮和自定義可確保探測器更長的使用壽命和更豐富的實驗應用
• EDS 可用于原位實驗，具有不斷變化的數據流，比如高溫實驗
• 全方面的軟件套件 ESPRIT，可用于在線和離線的數據分析

在線和離線的 TEM EDS 軟件

TEM 的 QUANAX EDS 包含一個靈活和透明的分析軟件包 ESPRIT。元素面分析、HyperMap 或頻譜圖像以及生成定量元素面分析可使用默認和用戶可調的方法設置，允許用戶快速、全方面地挖掘樣品數據。有標樣和無標樣的定量分析用于譜圖、選區分析、線掃描和元素面分析，以及基于 PCA 的物相分析和自動統計顆粒物分析。

• 帶個人硬件密鑰和/或 LAN 選項的離線分析軟件，用于學生或實驗室網絡
• 開放透明的用戶界面：您看到的就是您得到的
• 定量例程的設置、可修改和保存/重新加載 EDS 數據定量方法
• 電子透明試樣有兩種定量方法：Cliff-Lorimer 和Zeta 因子法
• 理論的 Cliff-Lorimer 因子可以計算任何電壓，包括SEM（SEM 中的 TEM）上的低電壓，它基于一個大型的穩步更新的原子數據庫
• 使用標準試樣輕松對實驗的 Cliff-Lorimer 和 Zeta 因子進行軟件引導校準
• 標樣未涵蓋的 Zeta 因子可以使用現有的 Cliff-Lorimer 因子進行計算
• EDS 譜圖背景模型的選擇：薄樣品物理模型，數學模型，厚樣品物理模型
• 報表生成和打印格式設置