QUANTAX EBSD 系統(tǒng)加上廣受歡迎的 OPTIMUS TKD 探測器，是分析 SEM 中納米材料的解決方案。原因如下：

• 提供 1.5 nm 的空間分辨率
• 在不影響速度和/或數(shù)據(jù)質量的情況下以低測試電流進行測試
• 在使用浸入式透鏡模式的很高分辨 SEM 下工作的 TKD 解決方案
• 全自動內置 ARGUS 成像系統(tǒng)

為什么我需要同軸 TKD？

Ge-Sb-Te (GST) 薄膜樣品的暗場像圖片，我們感謝斯坦福大學Aaron Lindenberg組提供的樣品和圖像結果

• 實現(xiàn)空間分辨率
• SEM 中獲取取向分布圖和物相分布圖
• 用于快速測試，同時不影響數(shù)據(jù)質量/完整性
• 以令人難以置信的速度，通過全自動信號優(yōu)化，以的對比度和分辨率拍攝 STEM 圖像
• 可使用低電流分析束流敏感材料。