用于故障分析與敏感材料研究的高真空原子力顯微鏡

Park NX-Hivac通過為失效分析工程師提供高真空環(huán)境來提高測量敏感度以及原子力顯微鏡測量的可重復性。與一般環(huán)境或干燥N2條件相比，高真空測量具有準確度高、可重復性好及針尖和樣本損傷低等優(yōu)點，因此用戶可測量各種故障分析應用中許多信號響應，例如掃描擴散電阻顯微術(shù)(SSRM)的摻雜物濃度。

Park NX-Hivac使得真空環(huán)境中高準確度和高分辨率測量的材料科學研究遠離氧氣與其它藥劑的影響。

在高真空條件下執(zhí)行掃描擴散電阻顯微鏡測量可減少所需的針尖-樣本相互作用力，從而大幅度降低對樣本和針尖的損傷。如此可延長各針尖的使用壽命，使掃描更加低成本和便捷，并通過提高空間分辨率和信噪比得到更為準確的結(jié)果。因此，利用NX-Hivac進行的高真空掃描擴散電阻顯微術(shù)測量可謂是故障分析工程師增加其吞吐量、減少成本和提高準確性的明智選擇。

NX-Hivac 真空自動控制

Hivac 管理器通過一鍵單擊在邏輯和視覺上控制真空條件抽氣和排氣過程來實現(xiàn)高真空。各個過程通過顏色和圖示變化得到直觀監(jiān)控，一鍵單擊后您即可無需操心真空操作順序。更快速、更簡便的真空控制軟件使原子力顯微鏡的使用更便捷更。

配備電控載物臺的StepScan 自動化掃描

StepScan允許用戶能夠?qū)ζ骷M行編程從實現(xiàn)而快速便捷地多區(qū)域成像。NX-Hivac讓您只需五步即可完成樣本掃描：掃描、提升懸臂、移動電動平臺至用戶定義坐標區(qū)域、進針及重復掃描。如此可很大地提高生產(chǎn)率，減少用戶輸入。