掃描探針顯微鏡(SPM)是在樣品表面用微小的探針進行掃描，通過高倍率觀察三維形貌和局部物理特性的顯微鏡總稱。SPM-9700更是性能高、速度快、操作簡單的新一代掃描探針顯微鏡。

1.樣品交換時也可保持激光穩定照射懸臂。照射穩定性優異，分析時間也大幅度縮短。

2.可從不同角度放大拉伸圖像進行確認。鼠標操作簡單，更可進行3D斷面形狀分析。

3.按照操作指南指導操作順序，使用導航功能直接鎖定觀察位置，實現了SPM的快速簡便的觀察

4.具備豐富的測定模式和優異的擴展性，可對不同硬度、不同導電性能等各式樣品進行觀察分析。

5.控制氣氛掃描探針顯微鏡 WET-SPM
可以控制樣品和周邊環境，在可控氣氛下進行樣品處理，并直接進行SPM觀察。
選配系統具有溫度濕度控制單元、樣品加熱冷卻單元、樣品加熱單元、吹起單元。

6.粒度分析軟件
從圖像數據中選取復數顆粒，對每一顆粒進行特征量的計算，并進行分析、顯示，以及及進行統計處理。