橢偏儀是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結構的光學測量儀器。由于測量精度高，適用于超薄薄膜測量，

與樣品非接觸，對樣品沒有破壞且不需要真寬，使得橢偏儀成為一種很具吸引力的測量儀器。
橢偏儀是測量比率，所以它對光束強度的變化或樣品的缺陷引起散射光不敏感。橢偏儀在每個波長測量2個量(Ψ and Δ)，

可以確定2個定量比如薄膜厚度，以及光學常數(shù)或基底的折射系數(shù)和消光系數(shù)。橢偏儀對薄膜Δ參數(shù)相位差敏感，能夠準確的測量薄膜厚度低至0 Å。