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TESCAN掃描電鏡MAIA3 model 2016

MAIA3 model 2016

  1. 產(chǎn)品編號:MAIA3 model 2016
  2. 所屬品牌:捷克TESCAN
  3. 產(chǎn)品型號:MAIA3 model 2016
  4. 額定功率:按實際方案提供
  5. 所屬類別:TESCAN掃描電鏡
  6. 所屬用途:制樣設(shè)備
  7. 應(yīng)用領(lǐng)域:金屬

產(chǎn)品特性:MAIA3 model 2016產(chǎn)品是一款具有很高表面靈敏度的高分辨掃描電子顯微鏡,在不同加速電壓下均有著優(yōu)越的成像能力.MAIA3 model 2016在低電壓下也有很好的性能,尤其對電子束敏感的半導(dǎo)體器件樣品以及納米材料等都具有優(yōu)異的表面靈敏度及高空間分辨率.全新的MAIA3也非常適合研究不導(dǎo)電試樣如原始狀態(tài)的生物樣品.

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產(chǎn)品特點 技術(shù)規(guī)格 行業(yè)標(biāo)準

主要特點:

TriglavTM——新開發(fā)的分辨電子光學(xué)鏡筒并配備TriLensTM物鏡及探測系統(tǒng)

  • 分辨率物鏡(60度浸沒式物鏡),全新的用于高分辨率分析工作的無漏磁分析物鏡,
  • 重新設(shè)計用于超大視場觀察的中間鏡。
  • 獨特的電子束無交叉模式與分辨率物鏡相結(jié)合,獲得了優(yōu)越的成像性能
  • 傳統(tǒng)的TESCAN大視野光路設(shè)計提供各種工作和顯示模式
  • 全新的EquiPower™技術(shù)進一步提高電子束的穩(wěn)定性
  • 新的肖特基場發(fā)射電子槍能使電子束流高達400nA并能實現(xiàn)電子束能量的快速改變
  • 通過擴展樣品室和專用支架能達到12”晶圓的SEM觀察
  • TriBETM技術(shù)具有三個BSE探測器,可以選擇不同角度的信號進行采集。
  • 位于鏡筒內(nèi)部的Mid-Ange BSE和In-Beam LE-BSE探測器,
  • 用于檢測中等角度及軸向的高角背散射電子,而樣品室的BSE探測器用于探測大角度范圍的背散射電子。
  • 并且這三個探測器能探測到低于200eV的低能背散射信號,綜合在一起,他們可以提供各種不同襯度的圖像
  • TriSETM技術(shù)具有三個SE探測器,對所有工作模式下采集二次電子信號都進行了優(yōu)化。
  • 位于鏡筒內(nèi)部的In-Beam SE探測器能在短工作距離下采集二次電子。
  • 用于電子束減速模式下的SE(BDM)探測器用于分辨成像。In-Chamber SE探測器能提供很好的形貌襯度
  • 電子束減速技術(shù)(BDT)能在低至50eV的低電壓下,也仍具有優(yōu)越的分辨率(選配)
  • 電子束實時追蹤技術(shù)可對電子束實現(xiàn)實時優(yōu)化
  • 擴展的低真空模式樣品室氣壓能達到500Pa,可用于不導(dǎo)電樣品的成像
相關(guān)應(yīng)用
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服務(wù)體系

Service System

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明,還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶最中肯的購買建議。

  1. 服務(wù)理念

    服務(wù)理念

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件;

  2. 售中服務(wù)

    售中服務(wù)

    為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數(shù)的說明,還為客戶提供不同品牌產(chǎn)品間的性能比較,給用戶中肯的購買建議。

  3. 售后服務(wù)

    售后服務(wù)

    安裝驗收合格后整機保修壹年。在質(zhì)保期內(nèi),我們負責(zé)為用戶的設(shè)備提供免費維護、保養(yǎng)和免費更換損壞的零部件;

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