TESCAN掃描電鏡S9000X Xe Plasma FIB-SEM

產品特性：TESCAN S9000X是一款氙（Xe）等離子分辨雙束FIB-SEM系統,配置新穎的TriglavTM 分辨率電子鏡筒以及新款的iFIB+TM離子鏡筒,它的分辨表征能力和樣品制備效率,足以應對半導體和材料表征中具挑戰性的物理失效分析工作,實現大體積三維樣品特性分析.

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產品特點技術規格行業標準

S9000X Xe Plasma FIB-SEM主要優勢：

• 新的 Essence 軟件的用戶界面可實現更輕松、更快速、更流暢的操作，包括碰撞模型和可定制的面向應用流程的布局；

• 新一代 Triglav™ UHR SEM 鏡筒具有很好的分辨率，優化的鏡筒內探測器系統在低束流能量下具有優越的性能；

• 軸向探測器通過能量過濾器，可以接收不同能量的電子信號，增強表面敏感性；

• 新型 iFIB+™ Xe 等離子 FIB 鏡筒具有很好的視野，可實現很大面積的截面加工；

• 新一代 SEM 鏡筒內探測器結合高濺射率 FIB，實現超快三維微分析；

• 氣體增強腐蝕和加工工藝，尤為適合封裝和 IC 去層應用；

• 高精度壓電驅動光闌，可實現 FIB 預設值之間的快速切換；

• 新一代 FIB 鏡筒具有 30 個光闌，可延長使用壽命，并很大限度地減少維護成本；

• 半自動離子束斑優化向導，可輕松選擇 FIB 銑削條件；

• 專用的面向工作流程的 SW 模塊、向導和工藝，可實現吞吐量和易用性。

相關應用

為用戶提供詳盡的儀器用途、重要參數的說明，還為客戶提供不同品牌產品間的性能比較，給用戶最中肯的購買建議。

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