1.用于低載荷測量的至佳的計量型納米壓痕測試儀
獨特的主動表面參比技術：參考參比針尖記錄樣品的表面位移位置，同時針尖壓痕完成測量，以此扣除熱漂移和框架剛度影響。
UNHT3 可測量他人估計的結(jié)果：兩個獨立式位移和載荷傳感器可可靠地控制載荷和壓入位移。
至大量程：從小壓入位移（幾納米）到大壓入位移（高達 100 μm），從低載荷（10 μN）到高載荷（100 mN）

 

2.市場上穩(wěn)定性至高的納米壓痕測試儀
熱漂移低至 10 fm/sec，可忽略，無需進行任何修正
獨特的蠕變測試過程的長期穩(wěn)定性
即使在高載荷下也保持高框架剛度 (>108 N/m)
獨特的 ZerodurÒ 材料沒有熱膨脹性，因此消除了測量過程中溫度變化的影響

 

3.“快速點陣”壓痕模式帶“模板”模式
采用“快速點陣”壓痕模式的快速測量點陣：每小時測試量高達 600 次，符合 ISO14577 儀器化壓入測試 (IIT) 要求
全新“模板”模式可用于從自動數(shù)據(jù)導出并創(chuàng)建更快速靈活的分析
定義自動測量的測量模板和多樣品管理

 

4.高精度的納米壓痕測試儀用于進行準確的表面檢測
超靈敏表面接觸點判定包含接觸剛度判定
測量凝膠和硬質(zhì)材料
載荷分辨率為 0.003 µN
載荷本底噪音小于 0.05 µN
位移分辨率為 0.003 nm
位移本底噪音小于 0.03 nm

 

5.內(nèi)置多功能：多種測試和分析模式
多種測試模式：連續(xù)多周期 (CMC)、恒應變速率、用戶自定義、點陣
動態(tài)力學測試 (DMA)包含“正弦”模式
各種不同機械性能的分析：硬度、彈性模量、儲能和損耗模量、蠕變、應力 - 應變、赫茲應力分析
環(huán)境控制：真空、液體、溫度和相對濕度

 

典型應用
聚合物的粘彈特性
硬質(zhì)涂層（PVD、CVD 涂層）：厚度小于 1 微米
聚合物薄膜
晶圓：厚度范圍為 10 nm 至 500 nm
光學和玻璃：薄膜和/或表面特性表征
內(nèi)在骨組織的質(zhì)量
超納米金剛石 (UNCD) 薄膜的機械性能