新一代的高溫納米壓痕測試儀

• 環境條件下至低熱漂移 (< 0.5 nm/min) 和整個溫度范圍內至低熱漂移 (< 3 nm/min)。
• 至高載荷框架剛度 (>>106 N/m) 和至低框架柔度 (<<0.1 nm/mN)：兩套獨立的位移和載荷傳感器與高精度電容傳感器結合，
• 可選擇“控制位移”和“載荷控制”模式。
• 高真空系統具有 5 軸磁懸浮渦輪泵和緩沖系統，允許在測量期間關閉初級泵，使振動降至至低。
• 獨特的加熱控制系統（3 項待批），采用3 個紅外 (IR) 加熱器分別用于給壓痕針尖、參比針尖和樣品進行加熱，
• 以及 4 個熱電偶用于將樣品表面溫度控制到 變化在0.1°C 內。
• 符合 ISO 14577 和 ASTM E2546 國際標準