Verios 是 FEI 可靠的 XHR（很高分辨率）SEM 系列產(chǎn)品。在半導(dǎo)體制造和材料科學(xué)應(yīng)用中，它可在1至30 kV 范圍內(nèi)提供亞納米量級分辨率以及增強(qiáng)的對比度，滿足材料精細(xì)測量所需，同時又不會削弱傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡 (SEM) 所具有的高吞吐量、分析能力、樣本靈活性和易用性等優(yōu)勢。

Verios 的材料科學(xué)應(yīng)用

對材料科學(xué)家來說，Verios 可以將亞納米表征拓展到當(dāng)下正在開發(fā)的全新材料（例如催化劑顆粒、納米管、孔隙、界面、生物對象和其他納米量級結(jié)構(gòu)），從而讓他們獲得重要的新發(fā)現(xiàn)。無需轉(zhuǎn)而采用 TEM 或其他成像技術(shù)便可獲得高分辨率、高對比度圖像。Verios 可靈活用于各類研究應(yīng)用，能夠容納全尺寸晶圓或冶金樣本之類的大樣本。您可以在高電流模式下執(zhí)行快速分析，也可以開展原型設(shè)計(jì)應(yīng)用，例如電子束感應(yīng)式材料直接沉積或光刻。